目录
第一章无机质谱分析方法发展的历史背景1
第一节质谱仪器1
一、分析器1
二、离子源4

第二节分析方法9

一、火花源质谱法10

二、辉光放电质谱法11

三、二次离子质谱法12

四、电感耦合等离子体质谱法14

五、同位素稀释质谱法16

六、激光电离质谱法17

七、共振电离质谱法18

八、加速器质谱法19

参考文献19

第二章辉光放电质谱法22

第一节引言22

第二节辉光放电基本原理23

一、辉光放电23

二、辉光放电的溅射和电离24

三、辉光放电质谱26

第三节仪器29

一、离子源29

二、质量分析器32

三、检测系统34

第四节辉光放电质谱分析及特点35

一、样品制备与预处理35

二、分析参数的选择与分析过程36

三、半定量和定量分析37

四、分析特点和性能比较40

第五节应用42

一、金属及半导体材料分析42

二、非导体材料分析47

三、深度分析49

参考文献52

第三章二次离子质谱法54

第一节引言54

第二节一次离子束64

一、一次离子源64

二、一次离子束光路67

第三节入射离子与样品的相互作用（二次离子发射机理）72

一、溅射产额72

二、二次离子产额80

第四节质谱仪与离子检测系统84

一、质谱仪84

二、离子信号检测系统87

第五节二次离子质谱仪90

一、二次离子质谱仪的分类90

二、IMS6F型二次离子质谱仪93

三、样品95

第六节二次离子质谱法的功能95

一、深度剖析95

二、绝缘样品的分析108

三、质谱分析——质量扫描109

四、线扫描，二次离子质谱的横向线分析110

五、微区分析110

六、三维分析112

第七节二次离子质谱法的定量分析112

第八节二次离子质谱法的应用118

一、质谱分析——大分子有机物的鉴别118

二、深度剖析——IC工艺的探索120

三、线扫描分析——金属中杂质氢的检测121

四、同位素分析——核燃料235U是否给周围环境带来放射性污染的

检测122

五、二次离子图像分析——马口铁组分的三维分布124

六、绝缘样品的分析——杂质在SOI材料中的分布124

七、高深度分辨率分析——IC工艺的浅结剖析125

八、硅中痕量硼二次离子质谱定量分析的异常现象126

参考文献128

第四章激光微探针质谱法130

第一节引言130

第二节激光束132

一、激光辐射132

二、谐振腔133

三、调Q（Q开关）技术134

四、电光调制Q135

五、激光的聚焦136

六、激光的倍频137

第三节激光与固体的相互作用138

一、激光等离子体屏蔽概念139

二、有机物和无机物的激光解析140

第四节仪器141

第五节激光微探针质谱法的应用146

一、半导体器件表面及体内杂质的鉴定147

二、各种材料微区沾污物的分析149

三、在生物、医学领域的应用151

参考文献152

第五章加速器质谱分析153

第一节加速器质谱分析原理153

第二节加速器质谱装置155

一、离子源与注入器155

二、加速器156

三、高能分析器156

四、粒子探测器156

五、其他加

本书内容分为两部分：第一部分概括性地叙述了质谱法，特别是无机质谱法的起源、发展和完善过程，以及在近代自然科学发展历程中它所扮演的重要角色，使读者得以简要了解质谱技术，并对无机质谱有全面概括地了解。第二部分，也是本册书的主要部分，分别从实验和使用角度描述了辉光放电质谱、二次离子质谱、激光微探针质谱、加速器质谱和同位素稀释质谱的基本原理、实验方法和主要应用。并在书末列出了国际最新的原子质量、原子量与同位素表等。

本书适宜从事无机质谱分析和借助于无机质谱方法进行科学研究的科技人员学习参考，也可作为大专院校相关专业师生的参考书。