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4月29日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(以下简称“中科仪”，证券代码：920186)正式在北京证券交易所敲钟上市，成为北交所重启询价发行后的首单硬科技企业，标志着这家深耕真空技术与半导体设备领域六十余年的“中科院系”企业，迈入资本市场发展的全新阶段。
中科仪本次上市公开发行股票5200万股，发行后总股本达2.24亿股，发行价格确定为16.21元/股，新股募集资金总额达8.43亿元(扣除发行费用后净额7.79亿元)，募集资金将全部聚焦核心业务，助力企业扩大产能、深化技术研发，加速推进半导体设备国产替代进程。
作为中国科学院控股体系核心企业，中科仪自1958年以中科院直属事业单位身份成立以来，始终深耕真空技术领域，主营业务涵盖干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务，产品广泛应用于集成电路晶圆制造、光伏电池等泛半导体领域，以及国家重大科技基础设施和科研领域。依托中科院深厚的科研资源积淀，公司搭建起真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三大国家级研发平台，形成了完整的技术研发与成果转化体系。
此次上市发行采用战略投资者定向配售、网下询价配售与网上定价发行相结合的方式，由招商证券担任保荐机构(主承销商)。得益于公司的技术实力与行业地位，本次发行获得了市场高度认可，参与询价的投资者涵盖公募基金、证券公司、私募基金、保险资管等各类专业机构，网下投资者及配售对象数量均处于北交所新股询价前列。值得关注的是，中科仪第二大股东为国家集成电路基金，持股近20%，“中科院系+国家大基金”的双重股东背景，进一步增强了市场信心。最终确定的16.21元/股发行价格，既契合北交所支持硬科技企业发展的定位，也为二级市场投资者预留了充分的博弈和上涨空间，上市首日公司股价暴涨344%，市值飙升至161亿元，充分体现了资本市场对其核心竞争力与长期发展潜力的认可。
本次募集的8.43亿元资金，将严格按照既定规划投入三大核心项目，聚焦半导体真空泵核心业务，实现产能与技术的双轮驱动。其中，2.31亿元将投入干式真空泵产业化建设项目，新建智能化产线，形成年产20040台干式真空泵的产能，重点提升生产自动化与智能化水平，缓解当前国产真空泵供不应求的市场缺口，满足国内晶圆厂对14nm及以下先进制程设备的批量需求；4.74亿元将投入高端半导体设备扩产及研发中心建设项目，扩建高端半导体设备生产线，完善光刻、刻蚀等核心工艺环节的真空部件配套能力，同时建设研发中心，强化7nm以下先进制程及化合物半导体领域的技术储备；1.21亿元将投入新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目，研发超高速节能泵、超高温泵等前沿产品，进一步优化极限真空度，攻克大抽速干式螺杆泵技术，适配128层以上3D NAND等存储芯片的苛刻工艺需求。
据悉，长期以来半导体用干式真空泵市场被欧美、日本企业主导，国内市场高度依赖进口。而中科仪凭借多年技术积累，已实现核心产品的重大技术突破，成为目前国内实现集成电路先进制程批量应用，且同时在清洁、中等、苛刻三类芯片制造工艺中完成规模化落地的本土企业。截至2025年末，公司已拥有授权发明专利103项，牵头或参与制定13项国家、行业及团体标准，各类干式真空泵累计出货量突破4万台。
财务数据显示，2022-2025年，中科仪营业收入从6.98亿元增长至12.91亿元，连续多年保持正增长，年复合增长率达22.75%，同期净利润也保持持续增长态势，稳健的业绩表现为企业发展提供了坚实支撑。业内人士表示，随着国内半导体产业自主可控进程持续推进，核心设备与零部件的国产化已成为行业发展的明确趋势，中科仪此次登陆北交所并成功募资，不仅能够进一步扩大产能、深化核心技术研发，巩固其在国产干式真空泵领域的地位，更将为国内集成电路产业链供应链安全提供更坚实支撑，助力国内半导体产业高质量发展。
风险提示：本文基于上市公司公告及公开信息整理，不构成投资建议。市场有风险，投资需谨慎。
浙公网安备 33010602000006号
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