国防科大创造超精加工奇迹 亚纳米成为“中国精度”

　　工控摘要：在工业制造业领域，装备的加工精度也直接关系到其工业成品的技术质量，可以说精度越高的加工工具，就能制造出越精密的工业产品。
　　
　　1纳米是一根头发丝的8万分之一，而小于1纳米则被称为亚纳米——这是国防科大精密工程创新团队在超精密光学零件加工中创造的“中国精度”，有力支撑了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”等3个国家重大科技专项创新突破，3年来为国家创造直接经济效益2亿多元。近日，该校研制两种超精抛光装备通过国家重大科技专项验收。
　　
　　超精密加工是以高精度为目标的*制造技术，纳米精度被誉为超精密加工技术皇冠上的明珠，西方发达国家将其视为战略资源，严格限制出口。面对我国光学零件制造水平的窘境，国防科大精密工程创新团队在李圣怡教授率领下，跳过一、二代光学零件制造加工技术，直接瞄准基于可控柔体制造的第三代光学加工方法开展攻关，在国内研制出拥有自主知识产权的磁流变、离子束两种超精抛光装备，创造了我国光学零件加工亚纳米的“中国精度”奇迹，使我国光学自动化加工技术及工艺一跃进入*水平，成为继美、德之后第三个掌握高精度光学零件制造加工技术的国家，也是目前世界上*同时具有磁流变和离子束抛光装备研发能力的国家。