德国inficon热电离真空计BAG552

德国inficon热电离真空计BAG552

对于需要独立热离子计技术的应用，Trigon™ 系列包括单一技术 Bayard-Alpert 热离子计 BAG552。

BAG552 设计用于压力范围为 5 × 10 -10  ... 2 x 10 -2  mbar 的气体真空测量。支持的双灯丝提供BAG552的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列VGC501、VGC502、VGC503结合使用。

inficon热电离真空计BAG552优点

² üPure Bayard-Alpert 测量系统适用于较宽的 UHV 和 HV 测量范围

² ü2 条用于 Bayard-Alpert 系统的灯丝

² ü电隔离电子器件以避免杂散电流

² ü滑动排放模式可避免切换排放流时压力跳跃和冻结

² ü由于可拆卸校准数据芯片，可烘烤性更长

² ü设定点继电器

² ü明亮、大尺寸 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面

² ü模拟输出、RS232C串行接口、EtherCAT®

² ü可与 VGC50x 控制器系列结合使用

² üRoHS 合规性

inficon热电离真空计BAG552典型应用

ü ·半导体工艺中的压力测量

ü ·工业涂料

ü ·高真空至BAG552真空范围系统的一般真空测量和控制

inficon热电离真空计BAG552规格

测量范围（空气、O 2、CO、N 2）: 5 × 10 -10 … 2 × 10 -2毫巴

准确性:  

1 × 10 -8 … 2 × 10 -2毫巴: ±15 读数

重复性: 读数的 5%，10 -8 … 2 × 10 -2 mbar（稳定 10 分钟后）

暴露于真空的材料: 不锈钢、NiFe、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、Ni、钨