铁电分析仪如何针对不同材料应变测量？

Huace FE-3000针对不同材料应变测量设计了块体与薄膜应变测试两种测量夹具，以下是两款夹具的介绍：

1. 高分辨率pm级测量平台-振动激光干涉测量D33;

2. 可评估piezoMEMS，也可方便实现块体与薄膜的夹持；

3. 0.01nm分辨率，2MHz带宽；

4. 可实现在RT~250℃的温度下进行测量。

激光测振仪+变温块体测试盒

1. 电极较大可调行程不小于3mm，分辨率0.01mm；

2. 较大样品尺寸小于30mm；

3. 样品盒较大试验电压不低于10kV；

4. 较大加热温度:RT~250℃；

5. 采用进口品牌温度控制器；

6. 具有过温与过流保护功能。

激光测振仪+变温块体测试盒

激光测振仪+高温块体测试盒

1. 电极较大可调行程不小于3mm，分辨率0.01mm；

2. 较大样品尺寸小于30mm；

3. 样品盒较大试验电压不低于10kV；

4. 较大加热温度:RT~800℃；

5. 采用进口品牌温度控制器；

6. 具有过温与过流保护功能。

激光测振仪+高温块体测试盒

激光测振仪高低温测试夹具

1. 适用于器件与块体材料应变测量；

2. 较大样品尺寸小于40mm；

3. 样品盒较大试验电压不低于2kV；

4. 较大加热温度:-196℃ - 250℃；

5. 采用进口品牌温度控制器；

6. 具有过温与过流保护功能。

激光测振仪高低温测试夹具

薄膜悬臂梁测试夹具

激光测振仪与薄膜压电测试(E31)相结合，可测量沉积在悬臂上的压电薄膜的压电系数(E31、D31和E33)。施加在压电薄膜上的电压使基板向各个方向弯曲。位移由激光测试振仪进时高速测量。使用薄膜压电测试套件进行的测量包括(但不限):E31、D31、D33、E33与厚度位移与电压的关系。

薄膜悬臂梁测试夹具