法国piezoconcept纳米定位器产品特点与用途

法国Piezoconcept纳米定位器技术概览

一、品牌与产品概述

Piezoconcept是一家专注于高精度运动控制技术的企业，主要研发压电陶瓷驱动的纳米定位系统。其产品以紧凑设计、高分辨率和快速响应为特点，适用于需要微米甚至纳米级定位的场景。

二、产品类型

Ø 六轴纳米定位台：支持多自由度运动

Ø 三轴线性位移台：XYZ方向平移

Ø 旋转定位台：单轴角度调整

Ø 倾斜调整台：用于光束对准

Ø 混合定位系统：结合压电与电机驱动

Ø 样品台适配器：兼容显微镜载物台

Ø 高速控制器：提升动态响应

Ø 传感器模块：集成位置反馈

三、主要型号与技术参数

1、LT6六轴台

Ø 运动范围：100×100×100μm至300×300×300μm

Ø 分辨率：0.1nm（XYZ轴）

Ø 谐振频率：500Hz（X轴）

2、PT3三轴台

Ø 行程：500μm（每轴）

Ø 闭环精度：±0.02%

3、RT1旋转台

Ø 角度范围：±5°

Ø 分辨率：1μrad

4、HT200混合台

Ø 粗定位步进：10mm

Ø 精定位压电：200μm

5、MS50显微镜载物台

Ø 兼容标准物镜

Ø 负载：1kg

6、SC100高速控制器

Ø 带宽：10kHz

Ø 接口：USB/Ethernet

四、核心特点

1、高分辨率运动：

采用压电陶瓷驱动，部分型号可实现亚纳米级步进。

2、紧凑结构设计：

部分定位台厚度小于20mm，适合集成到光学设备中。

3、多自由度配置：

提供三轴、六轴等组合，适应复杂定位需求。

4、模块化兼容：

控制器与定位台采用标准化接口，支持灵活组合。

5、实时反馈控制：

部分型号集成传感器，实现闭环位置调节。

五、应用领域

1、光学显微成像：

用于共聚焦显微镜的样品精确定位。

2、半导体检测：

晶圆或掩模版的微米级对齐。

3、生物技术实验：

细胞操作或微注射过程中的稳定定位。

4、精密制造：

小型元件的装配与加工。

5、科研仪器开发：

集成到光谱仪、干涉仪等设备中。

六、技术原理简述

压电陶瓷材料在电压作用下发生形变，通过机械放大结构转换为位移。闭环型号通过传感器反馈实时修正位置误差，开环型号依赖驱动电压的线性控制。